第一章 真空基础
一、真空概念和测量单位
二、真空区域划分
三、大气
四、真空技术术语（GB/T3163-93）
五、真空技术系统图用图形符号（GB/T3164-93）
六、理想气体的基本定律及状态方程
七、理想气体的压力、质量和密度
八、气体分子热运动速度
九、气体分子碰撞次数
十、气体分子的平均自由程
十一、常压下气体的迁移过程
十二、中、低压下气体的迁移过程
十三、吸附
十四、低压下的气体放电现象
第二章 管道流导计算
一、气体流量、流阻、流导的基本公式
二、流量单位
三、应用列线图和曲线计算管道串联时的流导和泵的有效抽速
四、气体沿管道的流动状态
五、粘滞流时孔的流导
六、分子流时孔的流导
七、粘滞流时管道的流导
八、分子流时管道的流导
九、分子流、粘滞流时对20℃空气，孔和管道的流导汇总表
十、粘滞——分子流时管道的流导
十一、以克劳辛系数计算管道流导
十二、档板的流导
十三、用传输概率计算流导
十四、分子流下复杂灌录的流导和传输概率
第三章 机械真空泵
一、真空泵型号编制方法
二、往复式真空泵
三、叶环式真空泵
四、水环——大气喷射真空泵组
五、油封式旋转机械真空泵
六、罗茨式真空泵
七、涡轮分子泵
八、干式真空泵
九、机械真空泵性能测试标准
第四章 蒸气流真空泵
一、概述
二、水蒸气喷射真空泵
三、油扩散喷射真空泵
四、油扩散真空泵
第五章 气体捕集真空泵
一、钛泵
二、低温泵
三、低温容器
四、分子筛吸附泵
五、锆铝吸气泵
第六章 真空密封
一、概述
二、静密封
三、动蜜蜂
第七章 真空元件
一、真空阀门
二、挡油帽、挡板和冷阱
三、观察窗、电极引入
第八章 真空室设计
一、真空室
二、真空室强度计算的一般知识
三、真空室壳体设计
四、真空标准（GB150-98）中外压圆筒和球壳壁厚计算公式
五、圆筒体加强圈的设计
六、封头强度计算
七、封偶标准
八、开孔加强设计
九、法兰及管道设计
第九章 真空系统设计
一、真空系统设计中的主要 参数
二、抽气时间计算
三、出气对真空系统的影响
四、选泵及配泵
五、计算实例
六、超高真空系统设计
七、真空机组
八、罗茨真空机组
九、扩散泵真空机组
第十章 真空装置
一、真空镀膜
二、分子束外延设备
三、离子束刻蚀技术
四、空间环境模拟设备
五、真空冶金炉
六、钢液真空脱气处理
七、真空热处理炉
八、辉光离子氮化
九、真空钎焊
十、真空电子束焊
十一、真空冷冻升华干燥
十二、果蔬食品的真空保鲜
十三、真空包装机
十四、真空气相干燥
十五、真空浸渍
十六、真空蒸馏
十七、真空输送
十八、真空过滤
十九、加速器真空系统
二十、受控制聚变装置
二十一、真空在核电工程中的应用
二十二、真空环境制备纳米材料
二十三、真空装置自动控制
第十一章 真空度测量与真空规校准
一、概述
二、真空规
三、真空规校准
四、真空测量技术
第十二章 真空系统的气体分析与分压测量
一、概述
二、真空质谱计的离子源
三、不同质量分离原理的质谱计
四、真空质谱计的离子检测器
五、四极质谱计
六、常用术语和真空质谱计的主要技术指标
第十三章 真空检漏技术和仪器
一、概述
二、漏孔、漏率及标准漏孔
三、检漏方法和仪器
四、氦质谱检漏仪
五、如何选择检漏仪器、检漏方法和示漏物质
六、氦质谱检漏技术
七、检漏的实践
第十四章 真空技术常用材料
一、材料的真空性能
二、真空材料
三、航天器用材料质量损失性能
第十五章 真空技术常用工艺
一、概述
二、真空技术中的清洁处理
三、真空设备制造中常见的几种永久性连接方法
四、玻璃、陶瓷工艺
五、真空排气工艺
第十六章 极高真空技术及其应用
一、概述
二、限制极限压力的因素
三、获得极高真空的方法
四、获得极高真空的技术
五、用分子沉技术获得10-11Pa极高真空
六、极高真空技术的应用
附录
一、真空设计常用数据
二、我国现有的真空标准
三、主要真空研究单位及生产厂家简介 |
