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微系统设计 内容提要 |
《微系统设计》是美国麻省理工学院（MIT）Senturia 教授根据自己在MIT电子工程系所讲授的课程的基础上进行扩展而编写的研究生教材，已经被美国10多所大学采用（包括斯坦福等著名大学）。《微系统设计》系统全面地介绍了涉及微机电系统（MEMS）设计的方法、理论和技术，包括MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟、相关电子线路与系统。《微系统设计》详细地介绍了利用集总参数方法、弹性力学和结构力学方法、能量分析法对MEMS器件进行建模、模拟和分析的方法；同时对微系统设计所涉及的能量耗散问题和流体力学系统、电路、噪声和封装问题等进行了分析和介绍。通过应用实例研究，详细介绍了压阻式压力传感器、电容式加速度计、静电投影显示器、压电速率陀螺仪、DNA扩增芯片和气体传感器等器件和系统的设计和制作。
《微系统设计》结构新颖、特点鲜明、内容丰富，能满足来自不同专业面向MEMS研究领域的研究生的需要。同时，对于相关领域的科研、工程技术人员和教师来说，也不失为一本很有价值的参考书。 |
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微系统设计 目录 |
第一部分 基础知识
第1章 引言
1.1 微系统和MEMS
1.2 微系统和MEMS的市场前景
1.3 实例研究
1.4 后续内容
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第2章 MEMS设计方法
2.1 引言
2.2 建模层级
2.3 实例：一个定位控制系统
2.4 后续内容
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第3章 微制造技术
3.1 引言
3.2 圆片级工艺
3.3 图形转移
3.4 小结
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第4章 工艺集成
4.1 开发一项工艺
4.2 工艺设计的基本原则
4.3 工艺流程举例
4.4 后续内容
习题
第二部分 建模策略
第5章 集总参数建模
5.1 引言
5.2 共轭功率变量
5.3 单端口元件
5.4 e→V约定中的电路连接
5.5 动态方程的公式表达
5.6 变压器和回相器
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第6章 能量守恒换能器
6.1 引言
6.2 平行板电容
6.3 双端口电容
6.4 静电执行器
6.5 磁执行器
6.6 线性换能器等效 |
| → 目录全文 |
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调换货原则 |
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