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光机电一体化丛书——微型传感器及其应用 内容提要 |
微传感器是在微机械电子系统技术基础上发展起来的一类新型传感器。微传感器具有体积小、重量轻、易于批生产、成本低等特点，在许多领域得到了越来越广泛的应用。许多常规传感器不能胜任的工作。通过使用微传感器可以很好地完成。微传感器已经成为21世纪传感器的重要发展方向。
《光机电一体化丛书——微型传感器及其应用》主要从普及的角度系统地介绍了各类微型传感器的基本原理，包括力与压力微传感器、速度与加速度微传感器、热微传感器、磁微传感器、化学微传感器、生物微传感器、光电微传感器、以及声表面波传感器。此外还大量介绍了微传感器的典型的应用。《光机电一体化丛书——微型传感器及其应用》的特点主要是内容系统全面、信息量大，涉及机电、光、热、磁、化学、生物等方面，有助于读者对微传感器有一个比较全面的了解。
《光机电一体化丛书——微型传感器及其应用》可供从事机械电子、自动控制、仪器仪表、传感器及其应用等有关方面的工程技术人员使用，同时也可供科研院所、设计部门以及大专院校的有关师生参考。
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光机电一体化丛书——微型传感器及其应用 目录 |
第1章引言1
11传感器1
12传感器的发展3
13微传感器4
第2章微机电系统基础7
21微机电系统定义7
211基础理论7
212技术基础8
213应用研究9
22微机电系统材料10
221硅10
222形状记忆合金15
223压电材料／电致伸缩材料16
224磁致伸缩材料17
225电流变体17
226凝胶18
23微机电系统的主要工艺18
231硅微加工19
232键合技术24
233LIGA技术25
234准分子激光技术26
235特种精密加工技术26
第3章力和压力微传感器28
31力微传感器28
311应变式力微传感器28
312压电式力微传感器28
32压力微传感器30
321压阻式压力微传感器31
322电容式压力微传感器33
323谐振式压力微传感器35
33摩托罗拉X型硅压力微传感器38
331结构形式38
332分类39
333封装形式40
34应用实例：微型高度计41
第4章加速度和角速度微传感器45
41加速度微传感器45
411加速度微传感器工作原理45
412压阻式加速度微传感器46
413电容式加速度微传感器50
414谐振式加速度微传感器55
415伺服式加速度微传感器57
416隧道型加速度微传感器58
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调换货原则 |
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