第1章微机电系统的组成和应用
1.1 引言1
1.2 微机电系统的特征2
1.3 微机电系统的材料和制造技术3
1.4 微机电系统的测量技术4
1.5 微机电系统的应用5
1.5.1 在航空航天方面的应用6
1.5.2 在生物医学方面的应用8
1.5.3 在微流量系统方面的应用11
1.5.4 在扫描探针显微术方面的应用12
1.5.5 在信息科学方面的应用12
1.5.6 在微光学方面的应用13
1.6 结语14
思考题15
参考文献15
第2章微机电系统功能材料
2.1 概述16
2.2 硅材料16
2.2.1 单晶硅16
2.2.2 多晶硅18
2.2.3 硅蓝宝石21
2.2.4 化合物半导体材料22
2.2.5 SiC薄膜材料23
2.3 压电材料24
2.3.1 压电效应24
2.3.2 石英晶体24
2.3.3 压电陶瓷26
2.3.4 聚偏二氟乙烯薄膜29
2.3.5 ZnO压电薄膜31
2.4 磁致伸缩材料33
2.5 形状记忆合金34
2.6 电流变液和磁流变液材料35
2.7&nbs |
