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微传感器设计、制造与应用

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微传感器设计、制造与应用内容提要

《微传感器设计、制造与应用》对基于压阻效应、电容效应、机械谐振效应、光电效应、电子隧道效应和原子力效应的多种微传感器和智能传感器的物理机理、材料等进行了系统的讨论。

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